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3月17-19日,慕尼黑上海光博會在上海新國際博覽中心舉辦。上海復享光學股份有限公司攜高性能光譜模組和光芯片檢測系統等亮相光博會,致力于為用戶提供全面而智能的深度光譜解決方案。
復享光學現場展位照片 21世紀是智能化時代,從集成電芯片,到集成光芯片,再到生物芯片,各類芯片應運而生。微納制造作為芯片的基礎,是保障整個產業的關鍵。在光刻、刻蝕、檢測等微納制造過程中,有超過一半的工藝都與光學技術相關,而其中光譜又具有核心的作用。 通俗來說,光譜就是解析光的技術。光可以攜帶芯片內部的大量信息,在微納制造的過程中,通過動態適時地解析光,就可以精確地控制芯片制造的過程,并剔除不良品。傳統的光譜技術為物質成分識別而生,重點是解析頻率維度的信息。而復享光學自創立之始,就以微納為核心關注領域,全面發展包括頻率、動量、偏振、相位等在內的多維度光譜技術,進而結合神經網絡算法,形成了全面而智能的深度光譜解決方案。  光譜檢測設備 此次光博會,復享光學參展的產品在集成電路設備中具有廣泛應用。無論在膜厚、形貌,還是在刻蝕EP測量過程中,都可以見到光譜設備的身影。復享光學是國內目前僅有的能同時滿足以上應用的光譜廠商。  衍射光波導檢測設備 衍射光波導是增強現實AR產品中最重要的器件,在其制備過程中控制光波導表面的形貌成為提高良率的關鍵。復享光學提供的光芯片檢測系統,可以實現光波導表面形貌關鍵參數的檢測,為AR器件量產提供了有力保障。 目前,公司已累計生產超過10,000臺設備,客戶廣泛覆蓋高校院所及眾多半導體設備產業頭部企業。 談及本次參會目的,復享光學CEO殷海瑋博士表示:“在今天的芯片之中,‘如何利用光’既是要解決的問題,也是答案本身:無論是制造具有更小納米結構的集成電路,還是設計基于微納光子結構的集成光芯片,光子學都成為了技術的關鍵。從光子學出發,再結合擅長大自由度參數處理的神經網絡算法,復享將光譜這一應用超過百年的傳統光學技術,發展為具有頻率、動量、位置、偏振和相位等更多維度的深度光譜技術?；诖?復享光學補上了中國半導體產業在光檢測上的重要一環。借此次光博會契機,我們希望加強與同行的交流與合作,共同促進中國半導體產業的快速發展?！?/p> |
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