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原標(biāo)題：中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“柳暗花明”，哪些科創(chuàng)板企業(yè)能“笑到最后”？

撰文丨馬詩晴

編輯丨常亮

長期以來，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大量材料和設(shè)備依賴國外進(jìn)口，時常遭遇“卡脖子”的困境。但隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移，以及2018年“國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金一期”投資完畢，中國半導(dǎo)體市場似乎到了“柳暗花明”的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)：

以半導(dǎo)體設(shè)備為例，根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2017年，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額約占全球15%，排在全球第三。而到了2018年，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場首度以131.1美元超越中國臺灣地區(qū)，占全球總銷售額的20.31%，居全球第二。

在這個過程中，中國大陸涌現(xiàn)出了一批優(yōu)秀的“開拓者”。科創(chuàng)板為這些“埋頭苦干”的企業(yè)從幕后走到前臺提供了平臺：有的在關(guān)鍵技術(shù)上打破國外巨頭壟斷，有的已經(jīng)成為細(xì)分領(lǐng)域王者。

那么，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上，國內(nèi)企業(yè)表現(xiàn)究竟如何？這些企業(yè)面臨怎樣的機(jī)遇和挑戰(zhàn)？未來應(yīng)該如何完善產(chǎn)業(yè)鏈布局？

從細(xì)分領(lǐng)域開始打破國外壟斷

半導(dǎo)體產(chǎn)品加工可以大致分為“前道晶圓制造”和“后道封裝測試”環(huán)節(jié)。主要工藝包括：光刻、刻蝕、離子注入、薄膜生長，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）等。

在加工過程中，不僅需要光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、成膜設(shè)備、減薄機(jī)、劃片機(jī)等設(shè)備輔助生產(chǎn)；單晶硅材料、化學(xué)機(jī)械拋光液等半導(dǎo)體材料也必不可少。

整體而言，半導(dǎo)體制造具有技術(shù)含量高、技術(shù)研發(fā)周期長，以及產(chǎn)品工藝和制造技術(shù)難度大等特點(diǎn)。因此該領(lǐng)域長期被發(fā)展歷史更悠久、技術(shù)積累更深厚的國外企業(yè)占據(jù)，國內(nèi)企業(yè)要切入實(shí)屬不易。

然而，由于半導(dǎo)體下游應(yīng)用十分廣泛，比如消費(fèi)電子、汽車、智能家居等，且半導(dǎo)體生產(chǎn)存在“一代設(shè)備，一代工藝，一代產(chǎn)品”的行業(yè)規(guī)律。這就給國產(chǎn)企業(yè)開辟了發(fā)展空間：

豐富的下游應(yīng)用，導(dǎo)致半導(dǎo)體市場十分細(xì)分，很難有一家企業(yè)覆蓋所有領(lǐng)域。這意味著國內(nèi)企業(yè)通過找準(zhǔn)定位，填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)鏈上細(xì)分領(lǐng)域的市場空白，將較為容易取得一定市場份額。

以芯源微（688037）為例，其“后道涂膠顯影設(shè)備”以及“后道單片濕法設(shè)備”，在LED芯片制造及集成電路制造后道封裝等環(huán)節(jié)，已經(jīng)打破外商壟斷。產(chǎn)品關(guān)鍵性能指標(biāo)已達(dá)到國際知名廠家水平，并且已成功實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。下游客戶包括臺積電、長電科技、華天科技、通富微電等多家半導(dǎo)體生產(chǎn)商。

除了芯源微之外，中微公司（688012）已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了等離子體刻蝕設(shè)備量產(chǎn)。刻蝕是制造集成的關(guān)鍵工序之一，即先對光刻膠進(jìn)行光刻曝光，然后再利用化學(xué)或物理方法去除硅片表面不需要的材料，從而在已經(jīng)涂膠的硅片上正確復(fù)制掩模圖形。

目前，中微公司的等離子刻蝕設(shè)備，已經(jīng)在65nm到7nm的工藝上實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，下游客戶包括臺積電、中芯國際、聯(lián)華電子等一流集成電路廠商。

總而言之，下游應(yīng)用日趨豐富，各類性能、用途的芯片大量共存。這一現(xiàn)狀意味著不同的芯片產(chǎn)線，需要配置技術(shù)等級及性價比相當(dāng)?shù)陌雽?dǎo)體設(shè)備。即使在同一產(chǎn)線上，復(fù)雜程度不同的環(huán)節(jié)，也需要搭配使用不同等級的設(shè)備。因此高、中、低各類技術(shù)等級的生產(chǎn)設(shè)備均有其對應(yīng)市場，能夠并存發(fā)展。

而在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，國內(nèi)企業(yè)同樣表現(xiàn)不菲，比如安集科技（688019），其成功打破了海外企業(yè)對化學(xué)機(jī)械光液的壟斷，成為了化學(xué)機(jī)械拋光液唯一國產(chǎn)供應(yīng)商。化學(xué)機(jī)械拋光液在芯片拋光工藝中，能夠幫助去除芯片表面的微米級/納米級材料，使得晶圓表面高度平坦，以便于開展下一步工藝。

此外，單晶硅材料供應(yīng)商神工股份（688233）也在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域具有舉足輕重的地位，其目前所研發(fā)和生產(chǎn)的集成電路刻蝕用單晶硅材料，已經(jīng)可以滿足7nm制程芯片刻蝕環(huán)節(jié)對硅材料的工藝要求。

總而言之，在半導(dǎo)體設(shè)備和半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，中國企業(yè)想要在海外巨頭林立的市場中占領(lǐng)一席之地，聚焦產(chǎn)業(yè)鏈上某一細(xì)分領(lǐng)域空白集中發(fā)力，或?qū)⒊蔀橥度氘a(chǎn)出比最大化的方式。

橫縱交織完善產(chǎn)業(yè)鏈

盡管中國半導(dǎo)體企業(yè)在某些細(xì)分領(lǐng)域已經(jīng)占領(lǐng)一定市場份額，甚至處于市場前列。但是相較于國外半導(dǎo)體企業(yè)，仍然存在較大規(guī)模差距。這時，企業(yè)一般通過兩種方式擴(kuò)大企業(yè)規(guī)模，以完善產(chǎn)業(yè)鏈布局，獲得更大產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同優(yōu)勢：

一是聚焦某一品類，縱向深入研磨技術(shù)，擴(kuò)張產(chǎn)能。代表企業(yè)有清溢光電、中微公司、安集科技等；二是利用過往技術(shù)積累，橫向拓展產(chǎn)品品類，獲得新的盈利點(diǎn)，從而起到擴(kuò)大企業(yè)規(guī)模的作用。代表企業(yè)包括神工半導(dǎo)體、芯源微、華峰測控等。

縱向擴(kuò)產(chǎn)以清溢光電（688138）為例，清溢光電是掩模版生產(chǎn)商。下游生產(chǎn)廠商需要利用掩模版上已經(jīng)設(shè)計(jì)好的圖案，復(fù)制電路圖形，從而實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。可以說，掩模版是半導(dǎo)體芯片、面板等下游產(chǎn)品量產(chǎn)的關(guān)鍵，也是精度和質(zhì)量的決定因素之一。

隨著消費(fèi)者對電子產(chǎn)品的需求越來越偏輕薄化，掩模版產(chǎn)品將趨于向高精度領(lǐng)域發(fā)展。基于不斷上升的高精度掩模版市場需求，此次科創(chuàng)板募資中，清溢光電將投入7.3億元用于高精度掩模版生產(chǎn)基地建設(shè)。通過縱向滿足市場需求的，實(shí)現(xiàn)規(guī)模成長。

橫向擴(kuò)產(chǎn)以華峰測控（688200）為例，華峰測控提供模擬和數(shù)模混合測試系統(tǒng)，主要用于模擬芯片的測試環(huán)節(jié)，值得注意的是，測試設(shè)備與測試系統(tǒng)是一一對應(yīng)的關(guān)系。目前，華峰測控的相關(guān)產(chǎn)品已經(jīng)在華潤微電子等大中型晶圓制造企業(yè)和矽力杰、圣邦微電子等知名集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)中批量使用。

然而，隨著5G、智能家居、電動汽車的發(fā)展，下游客戶對于SoC芯片的測試需求持續(xù)攀升；再加之SoC芯片測試相較于模擬類芯片具有更大的市場規(guī)模。因此，華峰測控已經(jīng)開始進(jìn)軍SoC芯片測試系統(tǒng)領(lǐng)域。

本次科創(chuàng)板募資中，華峰測控將投入6.67億元用于測試設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)，預(yù)計(jì)在建設(shè)后第四年，最終形成年產(chǎn)800套模擬及混合信號類測試系統(tǒng)，和200套SoC類測試系統(tǒng)。

縱觀國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上的企業(yè)，無論是設(shè)備商、材料商還是系統(tǒng)服務(wù)商，其整體發(fā)展邏輯基本一致：發(fā)展初期集中力量從細(xì)分領(lǐng)域切入，并非多點(diǎn)發(fā)展。在取得一定市場規(guī)模之后，順應(yīng)行業(yè)發(fā)展大勢，再選擇縱向擴(kuò)產(chǎn)或橫向拓展新的盈利點(diǎn)。

雖然目前在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)許多關(guān)鍵領(lǐng)域仍存在國產(chǎn)空白，但伴隨著“大基金二期”投產(chǎn)，以及全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈向中國大陸遷移，國內(nèi)廠商仍然擁有比以往更好的機(jī)遇。產(chǎn)業(yè)的進(jìn)程和更迭需要經(jīng)歷時間的打磨，具備優(yōu)質(zhì)技術(shù)水平，以及高市場敏感度的企業(yè)，無疑將成為這場浪潮中的最大贏家。