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9月16日—18日,光電業行業矚目的光電展示及交流平臺——第23屆中國國際光電博覽會以下簡稱“深圳光博會”在深圳國際會展中心拉開帷幕。展會期間,上海復享光學股份有限公司以下簡稱“復享光學”攜帶兩大新品filmX膜厚測量系統、gora-Lite顯微共焦光譜模塊亮相,展示能滿足新型芯片檢測需求的最新光譜智能技術。 近年來,微納制造的快速發展和芯片半導體“卡脖子”問題為光譜技術在中國半導體制造環節的應用帶來了契機,復享光學正是一家以智能光譜技術為半導體產業提供檢測設備和方案的科技創新型企業。
復享光學展位現場 半導體產業具有產業鏈長、細分環節多的特點,每個環節中0.1的誤差都可能對成品的良品率造成致命的打擊,而頻率、動量、位置、偏振、相位等深度光譜技術以及人工智能解決方案能夠完成半導體制程中的檢測環節,糾正0.1的誤差。為了更準確地糾正半導體產業鏈各個環節中可能產生的細微誤差、滿足不斷縮小的制程及各種新型芯片的檢測需求,復享光學自2011年創立以來,從光子學的物理模型出發,結合神經網絡分析的光譜智能技術,創新性地打造包括頻率、動量、位置、偏振、相位等全面而智能的光譜技術、產品和解決方案。 10年來的深耕和積累使得復享光學成長為少數能夠為半導體產業提供智能化全光譜檢測方案的硬科技公司。復享光學的研發團隊由光子學、人工智能領域人才及前沿光電子學科帶頭人組成,著力于光子學與人工智能的融合,公司已申請76項知識產權,其中已授權60項,含16項發明專利、2項國際專利,承擔超20項國家科技專項。憑借技術研發實力,在科研創新市場,復享光學產品已獲得國內外客戶的高度認可;在集成電路設備市場,復享光學已成功進入半導體領域頭部企業的供應鏈系統,逐步實現集成電路設備關鍵零部件的進口替代。
filmX膜厚測量系統 本次參展深圳光博會,復享光學帶來了兩大“硬核”產品:filmX膜厚測量系統和gora-Lite顯微共焦光譜模塊。 filmX膜厚測量系統是專為膜厚檢測用戶提供的模組和解決方案,其最大的特點是配置靈活,可用于不同厚度、不同層數的薄膜檢測。filmX膜厚測量系統采用了高性能復合光源,波段范圍最寬可達190-2500nm;配有單層膜/多層膜分析算法包,支持離線檢測和在線集成應用。該產品能夠進行快速、高精度的非接觸、非破壞性膜結構測量,滿足不同膜厚測量場景的使用需求,可廣泛應用于先進制造、半導體加工、照明顯示、生物醫藥等領域。
gora-Lite顯微共焦光譜模塊 gora-Lite顯微共焦光譜模塊的獨特優勢則能夠以“一個平臺”為用戶提供多種深度光譜解決方案。該產品具備快速安裝、一鍵自動切換等特點,具有集成化、自動化、智能化、開放性和復用性等優勢,既可以獨立成系統,也可以連接用戶顯微鏡、光路系統,還可以適配探針臺、強磁體、冷臺等環境設備,能實現微區透反射、熒光、拉曼、壽命、非線性、光電流、mapping等多種原位光譜檢測。gora-Lite顯微共焦光譜模塊的應用將有效解決傳統商用共聚焦光譜系統調試和搭建復雜,而開放共聚焦光譜系統精度難穩定保證以及測試模式切換繁瑣等問題。 光檢測將成為半導體產業的重要一環,復享光學希望通過本次展會的產品展示,吸引更多行業人士加入到光檢測技術的研發和應用中來。復享光學總經理殷海瑋表示:“在如今的芯片行業中,‘如何利用光’既是要解決的問題,也是答案本身。復享光學就是在‘光’本身中尋找答案,將光譜這一應用超過百年的傳統光學技術,發展為具有更高維度的、由算法驅動的深度光譜技術,為半導體產業提供全面而智能的光檢測解決方案,這是復享光學將持續奮斗的事業。” |
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